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PFA (Polyoxymethylene)

특성

기계적 강도가 높고, 치수 안정성이 있어, 내마모성 및 내약품

   성이 좋다. 수많은 특성을 가지는 고성능 플라스틱이며, FEP

   PTFE의 장점을 동시에 겸비한 불소수지로 비점착성 및 내

   열성이 뛰어나다.

              

사용온도:연속 사용온도 260 ℃,  융점:301 ℃


용도

반도체, LCD 제조장치 부품

    Wet Etch 공정 및 Photo 공정 등에서 사용됨.
    Wafer Pusher, Spin Chuck, Pin,
각종 Tube,

    Wafer Carrier

 

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