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PI (Poly Imide)
특 성
무 윤활 에서 PV한계치는 대부분의 고기능성 수지의 10배 이상.
▣ 내 크리이프 성 : 고온에서도 연화되지 않으며, 높은 하중 에서도
잘 견딤.
내약품성 : 내그리스, 오일용제
▣ 진공중에서의 내가스 방출성 : 고진공 Torr
사용 온도
연속:288℃, 단시간:480 ℃, 극저온에서도 사용 가능,
열변형:360℃
연소되는 상태 : 불연
대표적인 상품명 : Vespel, Meldin, Plavis
용 도
DRY ETCH 공정및 CVD공정에서 사용됨.
Wafer Clamp Ring, Focus Ring등
LCD 제조장치 부품 Lift pin, Glass pad
단열및 절연 부품, 밸브시트, 스러스트 플러그
중, 고진공하의 응용 부품 : 베어링, 가스켓, 씰, 피스톤
본사 및 공장 : 경기도 시흥시 엠티브이북로 351, (정왕동, 시화 엠티브이 3사1004)
TEL : 031-497-1740 / FAX : 031-497-1720 / E-mail : cnus@cnus.co.kr